一种提高高纯氯化氢中特殊杂质检测灵敏度的方法

摘要

本发明涉及高纯气体杂质检测领域，具体关于一种提高高纯氯化氢中特殊杂质检测灵敏度的方法；本发明方法公开的一种提高高纯氯化氢中特殊杂质检测灵敏度的方法，本方法使用并联的两根色谱柱，并且使用独立控温的柱箱，能够保证两根并联色谱柱分别所处的柱温，对各自分离的组分有利；由氦离子检测器对痕量杂质进行检测，检测限可低至1‑10ppb。此外，使用了一种高纯氯化氢色谱分析专用填料和纳米二氧化钛修饰毛细管柱，有利于电子级氯化氢中的痕量杂质的分离，本方法用氦离子检测器对氯化氢进行检测分析，灵敏度高，检测限低，杂质组分响应都呈线性，气路流程经过设计后，可以一次进样满足电子级氯化氢气体所有杂质分析需要。