一种电子级高纯氯化氢制备单元

摘要

申请(专利)号:201921085035.4公开(公告)日:2020-04-07申请(专利权)人:金宏气体电子材料(淮安)有限责任公司摘要:本实用新型公开了一种电子级高纯氯化氢制备单元,包括原料气源、第一气体压缩输送设备、干燥器、第二气体压缩输送设备、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、成品罐、回收精馏塔、升压汽化器以及钢瓶。