掌桥科研
一站式科研服务平台
学术工具
文档翻译
论文查重
文档转换
收录引用
科技查新
期刊封面封底
自科基金
外文数据库(机构版)
首页
成为会员
我要充值
退出
我的积分:
中文会员
开通
中文文献批量获取
外文会员
开通
外文文献批量获取
我的订单
会员中心
我的包量
我的余额
登录/注册
文献导航
中文期刊
>
中文会议
>
中文学位
>
中国专利
>
外文期刊
>
外文会议
>
外文学位
>
外国专利
>
外文OA文献
>
外文科技报告
>
中文图书
>
外文图书
>
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
美国国防部AD报告
美国能源部DE报告
美国航空航天局NASA报告
美国商务部PB报告
外军国防科技报告
美国国防部
美国参联会主席指示
美国海军
美国空军
美国陆军
美国海军陆战队
美国国防技术信息中心(DTIC)
美军标
美国航空航天局(NASA)
战略与国际研究中心
美国国土安全数字图书馆
美国科学研究出版社
兰德公司
美国政府问责局
香港科技大学图书馆
美国海军研究生院图书馆
OALIB数据库
在线学术档案数据库
数字空间系统
剑桥大学机构知识库
欧洲核子研究中心机构库
美国密西根大学论文库
美国政府出版局(GPO)
加利福尼亚大学数字图书馆
美国国家学术出版社
美国国防大学出版社
美国能源部文献库
美国国防高级研究计划局
美国陆军协会
美国陆军研究实验室
英国空军
美国国家科学基金会
美国战略与国际研究中心-导弹威胁网
美国科学与国际安全研究所
法国国际关系战略研究院
法国国际关系研究所
国际宇航联合会
美国防务日报
国会研究处
美国海运司令部
北约
盟军快速反应部队
北约浅水行动卓越中心
北约盟军地面部队司令部
北约通信信息局
北约稳定政策卓越中心
美国国会研究服务处
美国国防预算办公室
美国陆军技术手册
一般OA
科技期刊论文
科技会议论文
图书
科技报告
科技专著
标准
其它
美国卫生研究院文献
分子生物学
神经科学
药学
外科
临床神经病学
肿瘤学
细胞生物学
遗传学
公共卫生&环境&职业病
应用微生物学
全科医学
免疫学
动物学
精神病学
兽医学
心血管
放射&核医学&医学影像学
儿科
医学进展
微生物学
护理学
生物学
牙科&口腔外科
毒理学
生理学
医院管理
妇产科学
病理学
生化技术
胃肠&肝脏病学
运动科学
心理学
营养学
血液学
泌尿科学&肾病学
生物医学工程
感染病
生物物理学
矫形
外周血管病
药物化学
皮肤病学
康复学
眼科学
行为科学
呼吸学
进化生物学
老年医学
耳鼻喉科学
发育生物学
寄生虫学
病毒学
医学实验室检查技术
生殖生物学
风湿病学
麻醉学
危重病护理
生物材料
移植
医学情报
其他学科
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
主题
主题
题名
作者
关键词
摘要
高级搜索 >
外文期刊
外文会议
外文学位
外国专利
外文图书
外文OA文献
中文期刊
中文会议
中文学位
中国专利
中文图书
外文科技报告
清除
历史搜索
清空历史
首页
>
外文会议
>
环境科学、安全科学
>
1998 proceedings of contamination control
1998 proceedings of contamination control
召开年:
召开地:
出版时间:
-
会议文集:
-
会议论文
热门论文
全部论文
相关外文期刊
International journal of environment and development
Pollution Engineering
Radwaste Solutions
Water & waste treatment
Health & Safety Middle East
African Journal of Environmental and Waste Management
AWE International
Natural Resources and Conservation
Biology and environment
International Journal of Environmental Monitoring and Analysis
更多>>
相关外文会议
Ergonomics Society Annual Conference; 200604; Robinson College Cambridge(GB)
International Symposium on Off-Flavours in the Aquatic Environment; 20021007-10; Barcelona(ES)
Lidar Remote Sensing for the Environmental Monitoring VII; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6409
2004 USA-Baltic Internation Symposium
Specialty Conference on Engineering Solutions to Indoor Air Quality Problems July 21-23, 1997 Research Triangle Park, NC
NATO Advanced Research Workshop on Modelling of Environmental Chemical Exposure and Risk, Oct 5-9, 1999, Sofia, Bulgaria
IFIP 193; IFIP(International Federation for Information Processing) TC-11 WG 11.1 & WG 11.5 Joint Working Conference; ;
Near-surface geophysics and urbanization
Environmental Conference 2004 Meeting Papers
Conference on Waste Combustion in Boilers and Industrial Furnaces April 8-10, 1997 St. Louis, MO
更多>>
热门会议
Meeting of the internet engineering task force;IETF
日本建築学会;日本建築学会大会
日本建築学会(Architectural Institute of Japan);日本建築学会年度大会
日本建築学会学術講演会;日本建築学会
日本建築学会2010年度大会(北陸)
Korean Society of Noise & Vibration Control;Institute of Noise Control Engineering;International congress and exposition on noise control engineering;ASME Noise Control & Acoustics Division
土木学会;土木学会全国大会年次学術講演会
応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会
総合大会;電子情報通信学会
The 4th International Conference on Wireless Communications, Networking and Mobile Computing(第四届IEEE无线通信、网络技术及移动计算国际会议)论文集
更多>>
最新会议
2011 IEEE Cool Chips XIV
International workshop on Java technologies for real-time and embedded systems
Supercomputing '88. [Vol.1]. Proceedings.
RILEM Proceedings PRO 40; International RILEM Conference on the Use of Recycled Materials in Buildings and Structures vol.1; 20041108-11; Barcelona(ES)
International Workshop on Hybrid Metaheuristics(HM 2007); 20071008-09; Dortmund(DE)
The 57th ARFTG(Automatic RF Techniques Group) Conference, May 25, 2001, Phoenix, AZ
Real Time Systems Symposium, 1989., Proceedings.
Conference on Chemical and Biological Sensing V; 20040412-20040413; Orlando,FL; US
American Filtration and Separations Society conference
Combined structures congress;North American steel construction conference;NASCC
更多>>
全选(
0
)
清除
导出
1.
USER REQUIREMENTS AND DESIGN SPECIFICATIONS OF ISOLATOR CONTAINMENT FOR PHARMACEUTICAL PRODUCTION
机译:
药品生产用隔离器的用户要求和设计规范
作者:
Edgar Sirch
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
pharmaceutical production;
sterile and toxic products;
rigid isolators;
user requirements;
design specifications;
2.
MOISTURE DRY-DOWN IN HIGH PURITY HYDROGEN CHLORIDE
机译:
高纯氯化氢中的水分干燥
作者:
Ce Ma
;
Atul Athalye
;
Bernd Fruhberger
;
Edward Ezell
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
APIMS;
dry-down;
FTIR;
hydrogen chloride (HCl);
modeling;
moisture (H_2O);
stainless steel Electropolished (SSEP) surface;
XPS;
3.
AIR QUALITY: STRATEGIC BUSINESS PLANS (SBP) FOR NATIONAL, REGIONAL AND INTERNATIONAL STANDARDIZATION WORK
机译:
空气质量:国家,地区和国际标准化工作的战略业务计划(SBP)
作者:
Klaus Grefen
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
air pollution prevention;
standardization in germany, europe and worldwide;
CEN (comite europeen de normalisation = european committee for standardization);
ISO (international organization for standardization);
Co-operation of regional and international standardization bodies;
4.
EVALUATION OF A DRY LASER CLEANING PROCESS
机译:
激光干式清洁过程的评估
作者:
G. Vereecke
;
E. Roehr
;
M.M. Heyns
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
dry cleaning;
laser cleaning;
radiance process™;
excimer laser;
particle removal;
SiO_2;
Si_3N_4;
removal efficiency;
relative humidity effect;
5.
PRACTICAL ASPECTS OF CLEANROOM SOUND LEVEL CONTROL
机译:
洁净室声级控制的实用方面
作者:
Raymond K. Schneider
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
6.
APPLICATION OF PTFE MEMBRANE CONTACTORS TO THE INFUSION OF OZONE INTO ULTRA-HIGH PURITY WATER
机译:
PTFE膜接触器在臭氧渗入超高纯水中的应用
作者:
Michael J. Wikol
;
Masayuki Kobayashi
;
Steven J. Hardwick
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
cleaning;
mass transfer;
membrane contactor;
ozone;
silicon;
semiconductor;
water;
PTFE;
fluoropolymer;
7.
PRACTICAL DESIGNS FOR DEIONIZED WATER RECYCLE SYSTEMS IN THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY
机译:
半导体行业去离子水循环系统的实用设计
作者:
Jack Martyak
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
conservation;
contamination;
deionized water;
designs;
engineering;
recycling;
reuse;
semiconductor;
water;
8.
NEW BACTERICIDAL ELECTRICALLY ENHANCED FILTRATION SYSTEM FOR CLEANROOMS
机译:
用于洁净室的新型细菌电增强过滤系统
作者:
Rajan Jaisinghani
;
Thomas Inzana
;
Gretchen Glindemann
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
electrical enhanced filter bactericidal cleanroom staphylococcus cleanroom;
9.
OPTIMAL STUDY OF LOCAL UNIDIRECTIONAL FLOW CLEANROOM
机译:
局部单向流动洁净室的优化研究
作者:
Fei Peng
;
Guangbei Tu
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
local unidirectional flow;
air supply area ratio;
air flow field;
contaminant distribution;
cleanroom;
air flow field;
clean-down capability time;
10.
HIGH-PURITY HYDROGEN AND OXYGEN GENERATOR BY WATER ELECTROLYSIS USING SOLID POLYMER ELECTROLYTE
机译:
固体高分子电解质水电解制氢高纯度制氢剂
作者:
A. Miyake
;
T. Morioka
;
S. Yasui
;
H. Kobayashi
;
K. Hirai
;
T. Ohi
;
T. Sasaki
;
H. Harada
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
hydrogen;
water electrolysis;
electrolyzer;
proton exchange membrane;
solid polymer electrolyte;
high purity;
high pressure;
on-site;
deionized water;
11.
A Short Primer on the Use and Abuse of Statistical Methods in The Electronics Industry
机译:
电子行业中使用和滥用统计方法的简要介绍
作者:
T.J. Bzik
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
calibration;
limit of detection;
linearity;
method detection limit;
particle data;
precision reporting;
propagation of error;
statistics;
12.
ACID GAS TESTS OF GASEOUS CONTAMINANT ADSORBERS
机译:
气态污染物吸附剂的酸性气体测试
作者:
D. W. VanOsdell
;
M. K. Owen
;
L. B. Jaffe
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
adsorption;
adsorbers;
filtration;
gaseous contaminants;
acid gases;
SO_2;
NO_2;
ozone;
13.
NEW METHODS OF MICROBIAL AND SURFACE CONTAMINATION REMOVAL
机译:
去除微生物和表面污染的新方法
作者:
K. K. Foarde
;
A.M. Dixon
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
bioaerosols;
biocontaminants;
cleanrooms;
RP-18.2;
cleaning;
bacteria;
contamination;
14.
CLEANROOM GARMENTS AS THE COMPLEX MULTILAYER STRUCTURE
机译:
洁净的服装是复杂的多层结构
作者:
V. Vlasenko
;
O. Lukashevitch
;
L. Rybakova
;
V. Mashenko
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom garment;
multilayer structure;
filtration efficiency;
physiological properties;
15.
IMPROVED MEASUREMENT OF SWAB HANDLE ELECTRICAL RESISTANCE TO AID IN CLEANROOM ELECTROSTATIC DISCHARGE CONTROL
机译:
清洁室静电放电控制中对辅助把手的拭子电阻的改进测量
作者:
Douglas W. Cooper
;
Rob C. Linke
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
swab;
electrostatic discharge;
electrical resistance;
cleanroom;
contamination;
16.
AIR FLOW MODELING AND TESTING OF 300 mm MINIENVIRONMENT/LOAD PORT SYSTEMS
机译:
300毫米最小环境/负载端口系统的气流建模和测试
作者:
Heinz Schneider
;
Peter Fabian
;
Rita Sczepan
;
Susanne Hollemann
;
Alfred Honold
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
contamination control;
minienvironments;
SMIF;
FOUP;
front opening;
300mm;
CFD;
wafer environment control;
17.
REMOVAL OF ORGANIC GAS SPECIES BY UV-IRRADIATED TITANIA HONEYCOMBS
机译:
紫外线辐照的二氧化钛蜂窝去除有机气体
作者:
N. Namiki
;
Y. Otani
;
H. Emil
;
N. Ohigashi
;
F. Yoshikawa
;
S. Hayakawa
;
M. Ukaji
会议名称:
《》
|
1998年
关键词:
photocatalysis;
titania-coated honeycomb;
VOC;
organic contamination;
cation;
18.
Proposal for Isolator Venting with Sterilizing Grade Membrane Filter Cartridges
机译:
关于用灭菌级膜滤筒进行隔离器排气的提案
作者:
Maik W. Jornitz
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
HEPA filter: high effciency particualte air filter usually a depth filter type;
DOP Test: dioctylphtalate aerosol challenge test, also used as challenge media are PAO (polyalphaolefin, also known as Emery) and DEHS (diethylhexylsebacate);
isolator: controlled environment or containment system;
membrane filter: filter which contains a membrane with a defined pore structure and usually is a surface retentive filter;
Integrity test: Test to establish the flawlessness and tightness of a filter;
WIT:;
19.
MANAGEMENT DESIGN OF PROCESS EXHAUST SYSTEMS IN AN I/C MANUFACTURING ENVIRONMENT FOR EMISSION MINIMIZATION
机译:
排放最小化的I / C制造环境中过程排放系统的管理和设计
作者:
JOSEPH F. MATTREY
;
JOHN D. MILLER
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
process exhaust minimization;
cost optimization;
point-of-use treatment devices;
20.
SYSTEM FOR REMOTE DETECTION OF SUBMICROMETER PARTICLES IN SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT
机译:
半导体处理设备中亚微米颗粒的远程检测系统
作者:
Larry Fabiny
;
Michael J. Schabel
;
Thomas W. Peterson
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
contamination control;
optical particle counter;
particle detection;
cleanroom;
plasma;
lidar;
interferometer;
21.
CHARACTERISTIC OF BORON-FREE-FILTER
机译:
无硼过滤器的特性
作者:
Masahiro Watanabe
;
Shiro Hayashi
;
Tadamasa Wada
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
filter;
media;
boron-free-filter;
boron;
semiconductor industry;
gaseous;
contaminant;
chemical contamination;
22.
Development and Testing of air purifier using UV irradiation
机译:
使用紫外线辐射的空气净化器的开发和测试
作者:
Jun-ichi Wakamatsu
;
Minoru Inoue
;
Shuji Fujii
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom;
air purifier;
ultraviolet light;
design of experiment;
23.
EVALUATION OF ORGANIC CONTAMINANTS ON SI WAFER SURFACES IN CONTROLLED ENVIRONMENT
机译:
受控环境中硅晶片表面上有机污染物的评估
作者:
Naoki Kagi
;
Shuji Fujii
;
Kazuhiro Yuasa
;
Katsumasa Tanaka
;
Norikuni Yabumoto
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom;
organic gases;
surface contamination;
atmospheric pressure-ionization mass spectroscopy;
24.
EVALUATION OF ORGANIC CONTAMINATION IN CLEANROOM AND DEPOSITION ONTO WAFER SURFACE
机译:
洁净室中有机污染物的评估以及晶圆表面的沉积
作者:
Kikuo TAKEDA
;
Tatsuo NONAKA
;
Yasuko SAKAMOTO
;
Toshikazu TAIRA
;
Koichi HIRONO
;
Taketoshi FUJIMOTO
;
Nobuyuki SUWA
;
Kazuhiko OTSUKA
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
organic contamination;
cleanroom air;
wafer surface;
siloxsans;
phthalates;
phosphates;
trace analysis;
gas chromatograph mass spectrometry;
sticking probability;
25.
Detection of Biological Contamination
机译:
检测生物污染
作者:
Ralf Grimme
;
Ruediger Koelblin
;
Andreas Schuele
;
Iris Trick
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
abiotic;
airborne microorganisms;
biocontamination;
biotic;
contamination;
detection;
online detection;
microorganisms;
26.
MONITORING VIABLE FUNGAL AND BACTERIAL BIOAEROSOL CONCENTRATIONS TO IDENTIFY ACCEPTABLE LEVELS FOR COMMON INDOOR ENVIRONMENTS
机译:
监测可行的真菌和细菌生物气溶胶浓度,以识别室内常见环境水平
作者:
L.D. Robertson
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
indoor;
mold;
mildew;
bioaerosol;
contamination;
typical;
acceptable;
concentrations;
27.
VAPOR PHASE CLEANING WITH β-DIKETONES
机译:
β-二酮蒸气相清洁
作者:
S.E. Beck
;
M.A. George
;
D.A. Bohling
;
E.A. Robertson III
;
D.A. Moniot
;
A.J. Kobar
;
J.L. Waskiewicz
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
vapor phase cleaning;
wafer cleaning;
etching;
copper CVD chamber cleaning;
transition metals;
28.
Monitoring of Ionic Contamination on Silicon Wafers using Ion Chromatography
机译:
使用离子色谱法监测硅晶片上的离子污染
作者:
Samantha Tan
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
anions;
cations;
ion chromatography;
silicon wafer;
hazes;
cleanroom components;
29.
Cleaning with Carbon Dioxide Snow Inspection of a cleaning method
机译:
用二氧化碳雪进行清洁检查清洁方法
作者:
Engelbert Westkamper
;
Andreas Schuele
;
Dieter Werner
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
MEMS;
submicron particles;
dry cleaning;
disposal free cleaning;
hybrid cleaning;
local cleaning;
30.
IMPACT OF ORGANIC CONTAMINATION ON GATE OXIDE INTEGRITY
机译:
有机污染物对门氧化物完整性的影响
作者:
S. De Gendt
;
D.M. Knotter
;
K. Kenis
;
M. Depas
;
M. Meuris
;
P.W. Mertens
;
M.M. Heyns
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
organic contamination;
hexamethyldisilazane (HMDS);
wafer boxes;
vacuum;
clustering;
gate oxide integrity;
capacitors;
31.
'CLEANROOM GLOBALIZATION IS HERE, HELLO ISO, ARE YOU READY?'
机译:
“这里是洁净室全球化,您好,ISO,您准备好了吗?”
作者:
Richard A. Matthews
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom globalization;
ISO/TC209;
ISO standards;
ISO cleanliness classes;
32.
AN AUTOMATED AEROSOL PARTICLE COUNTING SYSTEM: METHODOLOGY OF DATA PRESENTATION AND TROUBLESHOOTING
机译:
自动化的气溶胶颗粒计数系统:数据表示和故障排除的方法
作者:
Ray Bower
;
Jack Livingston
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
aerosol counters;
automated data collection;
contamination control;
data management;
particle counters;
particle management;
33.
A DISCUSSION OF VIBRATION AND NOISE ISSUES IN A CLEANROOM DESIGN: PAST, PRESENT, AND FUTURE
机译:
关于洁净室设计中的振动和噪声问题的讨论:过去,现在和未来
作者:
Ahmad Bayat
;
Colin G. Gordon
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
vibration;
noise;
fabs;
microelectronics;
300mm wafer;
34.
CORRELATION OF ALTERNATIVE AEROSOLS AND TEST METHODS FOR HEPA FILTER LEAK TESTING
机译:
替代气溶胶与HEPA滤清器泄漏测试方法的相关性
作者:
L. Gail
;
F. Ripplinger
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
HEPA filters;
leak testing;
aerosol photometer;
particle counter;
DOP;
DEHS;
PAO;
35.
Evaluation of VOC Emissions From Clean room Materials Using New Chamber Test Method
机译:
使用新的腔室测试方法评估洁净室材料中的VOC排放
作者:
Hajime Tamura
;
Shuji Fujii
;
Kazuhiro Yuasa
;
Naoki Kagi
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom materials;
VOC;
emission rate;
dynamic head space method;
BHT;
DBP;
36.
Modeling of Airborne Molecular Contamination
机译:
空气中分子污染的建模
作者:
Sheng-Bai Zhu
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
37.
HACCP AND LIMITATION OF RISKS IN CLEAN ZONES
机译:
洁净区的危害和风险限制
作者:
Bengt Ljungqvist
;
Berit Reinmueller
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
airborne contamination;
clean zones;
cleanroom;
LR-method;
microbiological assessment;
38.
PROPOSAL FOR A HIGH-SCAN RATE LEAK TEST METHOD FOR AN INSTALLED FILTER SYSTEM
机译:
安装过滤系统的高扫描率泄漏测试方法的建议
作者:
Kunio SUZUKI
;
Kazuhiko OTSUKA
;
Keizo OKUI
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
air filter;
measuring technology;
sampling;
leak scan test;
poisson distribution;
ISO/TC209;
cleanrooms;
39.
IN SITU GAS ANALYSIS ON AN RTP TOOL WITH APIMS
机译:
使用APIMS对RTP工具进行现场气体分析
作者:
G. Vereecke
;
E. Kondoh
;
P. Richardson
;
K. Maex
;
M.M. Heyns
;
Z. Nenyei
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
RTP;
APIMS;
TDS;
thermodesorption;
wafer;
carryover;
dielectric films;
FSG;
H_2O;
absorption;
adsorption;
40.
Analysis of Trace Metals in Chlorine Trifluoride (ClF_3)
机译:
三氟化氯(ClF_3)中的痕量金属分析
作者:
S.N. Ketkar
;
K.L. Marhefka
;
M.D. Wagner
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
ClF_3;
ICPMS;
trace metals;
41.
PERFORMANCE CHARACTERISTICS OF IN-SITU PARTICLE MONITORS AT SUB-ATMOSPHERIC PRESSURES
机译:
亚大气压力下原位粒子监测器的性能特征
作者:
Gwi-Nam Bae
;
Benjamin Y. H. Liu
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
in-situ particle monitor;
detection efficiency;
lower detection limit;
particle size response;
particle concentration effect;
particles;
subatmospheric pressure;
42.
Development of Charging Device for Fine and Ultra-fine Particles Using UV/Photoelectron Method Under Alternating Field
机译:
交变场下UV /光电子法研制超细颗粒带电装置
作者:
Kazuhiko Sakamoto
;
Tomohiro Sugai
;
Kentarou Nakamura
;
Osamu Ishitani
;
Hidetomo Suzuki
;
Toshiaki Fujii
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
UV/photoelectron method;
electrical loss;
alternating field;
charging ratio;
penetration ratio;
charging apparatus;
43.
Monitoring a Vacuum Tool Using In-situ Particle Monitoring (ISPM)
机译:
使用原位粒子监控(ISPM)监控真空工具
作者:
Ken Roubik
;
Mike Grobelny
;
Scott Paul
;
Don Hess
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
vacuum in situ particle monitoring;
LPCVD furnace;
particle;
ISPM;
polysilicon;
TEOS;
yield;
44.
In Situ Gas Analysis with Contamination Modeling for Diffusion Furnaces
机译:
扩散炉污染模型的原位气体分析
作者:
Rifat Alchalabi
;
Frederick Tapp
;
Nishith Verma
;
Fanli Meng
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
horizontal furnace;
diffusion furnace;
in situ monitoring;
contamination;
gas purging;
gas analysis;
predictive modeling;
CFD modeling;
45.
NEW TUBING MATERIAL FOR SPECIALTY GASES: FERRITIC STAINLESS STEEL TUBE WITH INERT Cr_2O_3 SURFACE
机译:
用于特殊气体的新型管材:具有惰性Cr_2O_3表面的铁素体不锈钢管
作者:
Shigeki Azuma
;
Hiroshi Teranishi
;
Yasushi Matsuda
;
Yoshinobu Ando
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
purified gas distribution;
LSI manufacturing process;
316L stainless steel;
Cr oxide film;
corrosion;
ferritic stainless steel;
46.
MODELING COPPER DEPOSITION FROM AQUEOUS HYDROFLUORIC ACID
机译:
用氢氟酸模拟铜沉积
作者:
Lindsey Hall
;
Jennifer Sees
;
Ashutosh Misra
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
47.
Barrier Isolators and Microenvironments for Cleanroom Applications
机译:
洁净室应用的屏障隔离器和微环境
作者:
Eliot J Cook
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
48.
AN EVALUATION OF THE EFFECTIVENESS OF AIR SHOWERS ON REMOVING PARTICLES FROM CLEANROOM GARMENTS
机译:
空气清新剂清除洁净室服装中颗粒的效果评估
作者:
Donald L. Wadkins
;
Kevin Stultz
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
49.
ADVANCED TECHNOLOGY FACILITY CONSTRUCTION EDUCATION
机译:
先进技术设施建设教育
作者:
Allan D. Chasey
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
advanced technology facility construction;
cleanroom construction education;
cleanroom infrastructure;
construction management;
facility infrastructure support systems;
partnering, industry and education;
semiconductor facility;
50.
THE EVOLUTION OF ISOLATION TECHNOLOGY IN A DEVELOPING BIOTECHNOLOGY COMPANY
机译:
新兴生物技术公司中隔离技术的发展
作者:
Dennis Croll
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
VHP: Vaporized Hydrogen Peroxide;
RTP Port: a interlocking door system;
Transfer Isolator: a glove box on wheels;
Half Suit: a glove box where the upper half of a persons' body can fit;
Platine: a plate that holds ports for piping or electrical connections;
GMP: Good Manufacturing Practices, which are defined by the FDA;
51.
MODULAR FACILITIES DELIVERY
机译:
模块化设施交付
作者:
Scott E. Mackler
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
52.
CHARACTERIZATION OF SLURRY PARTICLES USED IN CHEMICAL MECHANICAL POLISHING (CMP) OF WAFERS
机译:
晶圆化学机械抛光(CMP)中使用的泥浆颗粒的表征
作者:
Benjamin Y.H. Liu
;
Seong Ho Yoo
;
Ho-Kyoon Chung
;
Seung-Ki Chae
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
chemical mechanical polishing(CMP);
slurry;
size distribution;
liquid filtration;
filter;
aggregate;
electrospray;
53.
PARTICLE MEASUREMENTS AND TRANSPORT IN SILANE LPCVD
机译:
硅烷LPCVD中的颗粒测量和运输
作者:
Sandeep Nijhawan
;
Nagaraja P. Rao
;
David B. Kittelson
;
Peter H. McMurry
;
Stephen A. Campbell
;
John E. Brockmann
;
Anthony S. Geller
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
ultrafine particles;
nucleation;
contamination control;
particle beam mass spectrometer;
silicon;
polysilicon;
CVD;
54.
Buffered HF at Point of Use
机译:
使用点的缓冲HF
作者:
Steven Verhaverbeke
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
buffered HF;
etching;
cleaning;
selectivity;
buffered oxide etch;
BHF;
BOE;
55.
IEST: Presentation: Latest in Isolation, Containment and Barrier Technology
机译:
IEST:演示:隔离,封闭和屏障技术的最新进展
作者:
Russell Krainiak
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
56.
EFFECT OF UV/PHOTOELECTRON AND PHOTOCATALYST CLEANING ON THE RELIABILITY OF THIN GATE OXIDES
机译:
UV /光电子和光催化剂的清洁对薄门氧化物的可靠性的影响
作者:
S. Yokoyama
;
H. Tobimatsu
;
T. Fujii
;
K. Shibahara
;
M. Hirose
;
K. Sakamoto
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
UV/photoelectron;
photocatalyst;
organic contamination;
gate oxide;
reliability;
dielectric breakdown;
57.
STRUCTURAL DYNAMICS AND VIBRATION CRITERIA FOR ADVANCED TECHNOLOGY FACILITIES
机译:
先进技术设施的结构动力学和振动准则
作者:
KENNETH MEDEARIS
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
cost savings;
floor motion criteria;
structural dynamics;
displacement response;
velocity component response;
stiffness;
58.
PARTICLE SHEDDING CHARACTERISTICS OF MEMBRANE FILTERS UNDER PULSED-FLOW CONDITIONS IN LIQUID FILTRATION
机译:
液体过滤中脉冲流条件下膜滤料的颗粒流失特性
作者:
Mindi Xu
;
Wei-Clung Li
;
Hwa-Chi Wang
;
Hafeez Rahman
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
particle shedding;
filter;
liquid filtration;
particle concentration;
steady flow;
pulsed flow;
ultrapure liquid;
59.
RE-DESIGN OF THE AIRFLOW SYSTEM TO CONTROL THE AIRBORNE PARTICULATE FOR AN EXISTING FILLING MACHINE
机译:
重新设计气流系统来控制现有灌装机的空气颗粒
作者:
Emilio Moia
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
60.
ADOPTING NEW STANDARDS FOR CLEANROOM DESIGN
机译:
采用全新标准的洁净室设计
作者:
Farzad Baban
;
Mark Seymour
;
Bruce MacGibbon
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
cleanroom design;
contamination control;
airflow modeling;
computational fluid dynamics;
CFD;
simulation;
ventilation;
61.
DEVELOPMENT OF BACTERICIDAL AIR FILTER WITH IMMOBILIZED ENZYMES
机译:
固定化酶的细菌空气滤清器的研制
作者:
Kazuro Isomae
;
Mikiko Gokano
;
Ryusuke Matsuoka
;
Shoji Yamazaki
;
Takuo Kawamoto
;
Atsuo Tanaka
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
air purifying filter;
bactericidal filter;
HEPA filter;
lyric action;
enzyme;
microorganism;
bacteria;
bacillus subtilis;
micrococcus luteus;
62.
A NEW IC WAFERS WASHING METHOD: QC(QUICK CHANGE) WASHING
机译:
一种新的晶片清洗方法:QC(快速更改)清洗
作者:
Eiichi Miyakoshi
;
Masaya Araki
;
Takao Nakazawa
;
Hiroyuki Harada
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
DI water;
semiconductor industry;
wafer washing;
QC washing;
63.
RESEARCH FOR A SIMPLE DEVICE OF UNIFORMING AIR FLOW
机译:
均匀气流的简单装置研究
作者:
Lai Wang
;
Hongyu huang
;
Jihong Ling
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
perforated plate;
air flow uniformity;
numerical calculation;
eddy current;
turbulence;
64.
Study on Local Clean System in Clean Room: The Clean Area by Controlling FFU Air Flow with Flapping Wall
机译:
洁净室局部洁净系统的研究:用扑壁控制FFU气流来洁净区域
作者:
Matsuo Kamitani
;
Kouji Watanabe
;
Kouji Katou
;
Atsusi Saiki
;
Junta Hirata
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
clean room;
air flow distribution;
airborne particulate concentration;
flapping wall;
65.
INTERNATIONAL CLEANROOM STANDARDS AND THEIR IMPACT ON THE PHARMACEUTICAL INDUSTRY
机译:
国际清洁标准及其对制药行业的影响
作者:
Hans H. Schicht
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
quality systems;
GMP guidelines;
air cleanliness classification;
aseptic manufacturing;
sterile processing;
international cleanroom standards;
66.
Contamination Control in Relation with Medical Device CE Qualification
机译:
与医疗器械CE认证有关的污染控制
作者:
H. Huiskamp
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
67.
STUDIES ON THE ANTIBACTERIAL AIR FILTER
机译:
抗菌空气滤清器的研究
作者:
M. Okamoto
;
H. Toge
;
M. Furuhashi
;
I . Ueda
;
Y. Nakano
;
C. Miyagawa
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
medical facilities;
nosocomial infection;
airfiltration;
sterilization;
disinfection;
contaminatoin;
68.
REMOVING THE TYPICAL TRACE GASEOUS CONTAMINANTS IN CLEANROOM USING SECONDARY PARTICLE FORMATION WITH SHORT-WAVELENGTH UV LIGHT AND UV/PHOTOELECTRON CHARGING METHOD
机译:
短波紫外光和紫外/光电子充电法消除二次粒子形成中洁净室中的典型痕量气态污染物
作者:
Kazuhiko Sekiguchi
;
Kazuhiko Sakamoto
;
Osamu Ishitani
;
Toshiaki Fujii
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
ultra violet;
gaseous species;
photochemical reaction;
particle formation;
adsorption;
photoelectron;
charging;
removal efficiency;
simultaneous removal;
69.
Method Detection Limits for Trace Metals Analysis by ICP-MS
机译:
ICP-MS分析痕量金属的方法检测限
作者:
S.N. Ketkar
;
T.J. Bzik
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
calibration;
ICP-MS;
limit of detection;
method detection limit;
ordinary least squares;
SEMI standards;
statistics;
weighted least squares;
70.
PARTICLE DEPOSITION MEASUREMENTS USING SILICON WAFER WITNESS PLATES AND A LASER SCANNER
机译:
使用硅晶片见证板和激光扫描仪进行颗粒沉积测量
作者:
E. N. Borson
;
C. J. Schwindt
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
particle counting;
area coverage;
laser scanner;
space systems;
MIL-STD-1246;
71.
Chemistry of the Silicon Oxide Surface: Metal Adsorption from SCI Solutions
机译:
氧化硅表面的化学性质:SCI解决方案中的金属吸附
作者:
Lindsey Hall
;
Jennifer Sees
;
Trace Hurd
;
Bud Schmidt
;
Laurel Bellay
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
72.
A DISCUSSION OF VIBRATION AND NOISE ISSUES IN A CLEANROOM DESIGN: PAST, PRESENT, AND FUTURE
机译:
关于洁净室设计中的振动和噪声问题的讨论:过去,现在和未来
作者:
Ahmad Bayat
;
Colin G. Gordon
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
vibration;
noise;
fabs;
microelectronics;
300mm wafer;
73.
Miniature Quadrupole Arrays For Residual and Process Gas Analysis
机译:
微型四极杆阵列,用于残留和过程气体分析
作者:
S. Boumsellek
;
R.J. Ferran
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
process gas analysis (PGA);
RGA;
ray tracing;
quadrupole array;
space charge effects;
74.
APPLICATION OF AN ISPM ON AN LAM ALLIANCE 9400 ETCHING PROCESS
机译:
ISPM在LAM Alliance 9400蚀刻过程中的应用
作者:
HungMin Chein
;
Charles C. K. Chou
;
Jeansong Shiao
;
Jyh-Ping Wang
;
Thomas Chang
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
etching process;
ISPM;
particle monitoring;
and product defects;
75.
INVISCID JET TECHNOLOGY FOR MONITORING PARTICLES IN FLUIDS
机译:
用于流体中颗粒物监测的INVISCID JET技术
作者:
Dennis Knowlton
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
particle counter;
inviscid flow;
on-axis detection;
volumetric;
spectrometer;
76.
PARTICLE MEASUREMENT PROCEDURES FOR CLEANROOM MONITORING AND ASSURING COMPLIANCE WITH ISO 14644-1 OR WITH FEDERAL STANDARD 209E
机译:
清洁室监控和确保符合ISO 14644-1或联邦标准209E的颗粒测量程序
作者:
Al Lieberman
;
Cari Shepherd
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
particle counters;
contamination measurement;
cleanroom monitoring;
ISO 14644-1;
federal standard 209E;
ISO 14644-2;
compliance;
77.
The Effect of Sedimentary Particles on Floors in Non-Unidirectional Airflow Cleanrooms
机译:
非单向气流洁净室中沉积物颗粒对地板的影响
作者:
Ed Lake
;
Naoki Watanabe
;
Hiroshi Goto
;
Masayuki Kitano
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
78.
CHEMICAL FILTRATION - DESIGNING FOR OVERALL EQUIPMENT EFFICIENCY
机译:
化学过滤-整体设备效率设计
作者:
Joseph Zahka
;
Wilson Moya
;
Paul Friedman
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
79.
The Particle Removal Efficiency of Pulse Air Jet Utilizing the Propeller Method
机译:
螺旋桨法去除脉冲空气射流的颗粒效率。
作者:
Paul Shambreskis
;
Roger Lyman
;
Yoshihide Isobe
;
Kazuki Itakura
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
80.
DEGRADATION OF TRACE GASEOUS COMPOUNDS USING FIXED PHOTOCATALYST AND UV LIGHT-AIR CLEANING TECHNOLOGY COMBINED WITH ABSORPTION OF GASEOUS POLLUTANTS INTO WATER
机译:
固定的光催化剂和紫外光净化技术结合吸收性胶质降解水中的痕量气态化合物
作者:
Kazuhiko Sakamoto
;
Shinobu Ushijima
;
Takako Tsuji
;
Osamu Ishitani
;
Toshiaki Fujii
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
gaseous pollutant;
fixed photocatalyst;
tio_2;
gas-absorption;
uv light;
sunlight;
sterilization lamp;
self-cleaning;
81.
PRECISE VISUAL INSPECTION
机译:
精确的视觉检查
作者:
Jack Sanders
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
particles;
paniculate contamination;
percent area coverage;
modeling;
82.
DECOMPOSITION OF TRACE-AMOUNT OF VOC USING UV-LIGHT AND PHOTOCATALYST
机译:
紫外光和光催化剂分解挥发性有机化合物的痕量
作者:
Kazuhiko Sakamoto
;
Yoshio Tonegawa
;
Jun Inoue
;
Osamu Ishitani
;
Hitoshi Kohno
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
air purification;
photochemical reaction;
photocatalytic reaction;
titanium dioxide;
vocs;
toluene;
benzene;
83.
ENTRAINMENT AND TRANSPORT OF BIO AEROSOLS FROM VENTILATION DUCTS
机译:
通风管道中生物气溶胶的引诱和运输
作者:
K. K. Foarde
;
D. W. VanOsdell
;
D.S. Ensor
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
bioaerosols;
biocontaminants;
entrainment;
transport;
ventilation;
aerosol;
penicillium;
84.
COMPARATIVE OUTGASSING STUDIES ON EXISTING 300MM WAFER SHIPPING BOXES AND PODS
机译:
现有300mm晶圆运输盒和豆荚的比较外出研究
作者:
Dong Hou
;
Peng Sun
;
Martin Adams
;
Todd Hedges
;
Sharon Govan
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
airborne molecular contamination (AMC);
contamination-free manufacturing (CFM);
outgassing;
thermal desorption-gas chroma-tography/mass spectrometry itrogen phosphorus detector (TD-GC/MS/NPD);
wafer shipping box;
front-opening unified pod (FOUP);
front-opening shipping box (FOSB);
polymer additives;
85.
An Application and Experiment of Decontamination by Water and Far-infrared Wave
机译:
水和远红外波净化的应用与实验
作者:
Mitsuru Uchiyama
;
Yoshihiro Kiuchi
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
86.
THE STANDARD METHOD FOR TESTING AIR FILTER USED IN GENERAL VENTILATION IN CHINA
机译:
中国一般通风用空气滤清器的标准测试方法
作者:
Guangbei Tu
;
Junxing Jia
;
Yongjie Xing
;
Jie Yang
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
air filter;
testing standard;
test method;
efficiency of atmospheric particle counting;
automatic particle counter;
87.
TESTS OF FULL- AND SMALL-SCALE GASEOUS CONTAMINANT ADSORBERS WITH SINGLE AND MIXED VOCS
机译:
单一和混合VOCS的全尺寸和小尺寸气态污染物吸附剂的测试
作者:
M. K. Owen
;
D. W. VanOsdell
;
L. B. Jaffe
会议名称:
《1998 proceedings of contamination control》
|
1998年
关键词:
gaseous contaminants;
adsorbers;
adsorbent media;
volatile organic compounds;
VOCs;
air cleaners;
filtration;
意见反馈
回到顶部
回到首页