首页> 中国专利> 一种测试薄膜及用于评估薄膜封装性能的治具和测试方法

一种测试薄膜及用于评估薄膜封装性能的治具和测试方法

摘要

本发明公开了一种测试薄膜及用于评估薄膜封装性能的治具和测试方法,其中测试薄膜包括基板,位于基板上从下到上依次设有的导电层、活泼金属层和封装层,其中活泼金属层被封装层全部覆盖,导电层包括未被活泼金属层和封装层覆盖的至少一个引脚;治具包括底座和上盖,还包括载物部件,与测试薄膜形状适配的凹槽一;密封部件、若干个测试探针、开口和线路连接部件。本发明所述的测试薄膜和治具,其结构简单,测试方便,其能够搭配电流源、电压表等测试仪表使用,其测试方法可以实现长时间的监测在一定温度、湿度条件下测试薄膜膜层微电阻的变化的变化,可判断测试薄膜阻隔水气的能力,能够用于准确评估测试薄膜膜层的封装性能,准确度高。

著录项

  • 公开/公告号CN108074833B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201711368776.9

  • 发明设计人 孙业熙;

    申请日2017-12-18

  • 分类号H01L21/66(20060101);H01L21/67(20060101);

  • 代理机构44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司;

  • 代理人孙伟峰;武岑飞

  • 地址 430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室

  • 入库时间 2022-08-23 11:34:00

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号