公开/公告号CN108246593B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 意法半导体股份有限公司;
申请/专利号CN201710400836.4
申请日2017-05-31
分类号B06B1/06(20060101);H01L41/083(20060101);H01L41/31(20130101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 意大利阿格拉布里安扎
入库时间 2022-08-23 11:31:33
机译: 制造电容式微加工超声换能器的方法和配置为使用电容式微加工超声换能器获得对象信息的设备
机译: 通过微加工工艺制造的超声换能器,超声诊断装置中的超声换能器单元和腔以及控制方法
机译: 电容式微加工超声换能器及其制造方法