...
机译:使用SOI晶圆进行阳极键合以制造电容式微加工超声换能器
CMUT; Anodic bonding; Residual stress; SOI wafer;
机译:使用SOI晶圆进行阳极键合以制造电容式微加工超声换能器
机译:低温晶片直接键合的电容式微机械超声换能器的制备与表征
机译:通过局部氧化和直接晶圆键合制造电容式微机械超声换能器
机译:使用SOI晶片制造的电容式微机械超声换能器中的容量应力
机译:采用晶片键合技术构建的电容式微加工超声换能器(CMUT)。
机译:低温晶片直接键合的电容式微机械超声换能器的制备与表征
机译:使用SOI晶片进行阳极键合,用于制造电容式微机械超声换能器
机译:DC-GHz微机械电容式空气传感器