一种MEMS触觉传感器及其制作方法

摘要

本发明提供一种MEMS触觉传感器及其制作方法，该MEMS触觉传感器包括衬底及位于衬底上的发光二极管、光电检测二极管及悬臂梁波导，其中，悬臂梁波导位于发光二极管和光电检测二极管中间，用于将发光二极管发出的光线耦合到光电检测二极管中进行检测，外加触觉力会改变悬臂梁波导的耦合比，通过光电检测二极管的输出电流可获得触觉力信息。本发明的MEMS触觉传感器采用新颖的力‑位移‑光‑电式检测原理，具有分辨率和灵敏度高、响应速度快和抗电磁干扰能力强的优势，由于多个部件位于同一衬底上，器件结构紧凑、体积小。另外，传感器还具有多功能集成化的潜力。本发明的触觉传感器可利用成熟的MEMS工艺线进行加工，对批量化生产和降低生产成本具有重要意义。