一种精确制备适用于生物传感器间距可控的超细金属微米柱阵列的方法

摘要

本发明涉及一种精确制备适用于生物传感器间距可控的超细金属微米柱阵列的方法。其制备：1)清洗带纳米孔阵列的基底，吹干；2)基底表面旋涂光刻胶，烘干；3)使用激光直写设备设计微米柱阵列的图案，按照设计曝光相应区域，并用显影液去除微米柱阵列对应区域光刻胶；4)在基底底部施加负压，将金属纳米浆料填充至去除光刻胶后的微米柱阵列区域，最后进行研磨；5)透光片压在基地顶部，然后激光穿过透光片进行扫描，烧结固化金属浆料；6)去除剩余光刻胶，即得超细金属微米柱阵列。本方法可以任意设计超细金属微米柱的外部形貌和阵列排布，所得超细金属微米柱形状规则无缺陷，尺寸精度高，用于生物传感器中有利于信号增强和信号传递。