人造石英晶体籽晶片的腐蚀装置及腐蚀方法

摘要

本发明提供一种石英晶体籽晶片腐蚀控制装置：包括籽晶片腐蚀主体机架、腐蚀箱和水浴箱，籽晶片腐蚀主体机架上设置有定时器和带有电机的转轴，定时器与转轴连接，转轴上固定设置有牵引杆；牵引杆上设置有可自由转动的转轮，转轮上固定设置有牵引线，腐蚀箱顶部设置有牵引通孔和通气管孔，腐蚀箱放置在水浴箱中，牵引线依次穿过限位孔和牵引通孔后与提绳固定连接；本发明还提供一种石英晶体籽晶片腐蚀方法，人造石英晶体籽晶片在腐蚀液中往复运动；本发明强调了腐蚀液体的温度控制，有效的控制了腐蚀液的过饱和度，从腐蚀液浓度保障了匀速腐蚀。