公开/公告号CN109072434B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 齐卡博制陶业有限公司;
申请/专利号CN201780025751.0
发明设计人 K·J·乌灵斯;M·P·G·比姆斯特;
申请日2017-02-24
分类号C23C16/458(20060101);C30B25/12(20060101);
代理机构11315 北京国昊天诚知识产权代理有限公司;
代理人南霆
地址 荷兰海尔蒙德
入库时间 2022-08-23 11:28:12
机译: 基板载体组件,基板载体以及用于这种基板载体组件的屏蔽段。
机译: 基板的处理方法,用于保持基板以进行处理的静电载体以及包括静电载体的组件,所述静电载体具有与基板静电结合的基板
机译: 基板的处理方法,用于保留基板以进行处理的静电载体以及包括具有静电键合了基板的静电载体的组件