東大とランテクニカルサービスが、接着剤レスで超薄型ガラス基板とキャリアガラス基板を常温接合、常温剥離できる新技術を開発

摘要

東京大学大学院工学系研究科の須賀唯知教授らの研究グループは、ランテクニカルサービス株式会社（代表取締役社長松本好家）と共同で、接着剤を用いず超薄型ガラス基板とキャリアガラス基板を常温で接合し、さらに高温加熱処理した後でも、常温で剥離できる新技術を開発した。