用于掩模版的智能自动化管理的方法和系统

摘要

本发明涉及用于掩模版的智能自动化管理的方法和系统，具体提供了一种控制制造系统的方法、系统以及实现该方法的程序存储设备，其中，该方法包括：提供要在加工设备上处理的多个工件，其中，所述多个工件位于在所述加工设备之前的处理站；在工件到达加工设备之前，根据与所述多个工件相关的特性对所述加工设备确定辅助设备的分配需求；并在所述工件到达加工设备之前根据所述分配需求向所述加工设备发送辅助设备。根据本发明的一个实施例，所述加工设备包括光刻系统，所述辅助设备包括掩模版，所述多个工具包括半导体衬底。