透射电子显微镜样品和样品杆的预处理装置

摘要

本发明涉及透射电子显微镜的配件技术领域，具体涉及一种透射电子显微镜样品和样品杆的预处理装置，该装置包括：等离子清洗模块，其用于对TEM样品进行等离子清洗；真空存储模块，其用于对TEM样品和/或样品杆进行真空存储；真空泵组和控制模块，所述控制模块用于控制所述真空泵组与所述等离子清洗模块和/或所述真空存储模块连通；其中，所述等离子清洗模块的清洗室连接连接有冷阱，所述冷阱的制冷方式为液氮冷却，以便通过冷指传输的方式加快所述清洗腔达到目标真空度的速度。本发明的装置通过一套真空泵组实现了两种预处理，省略了在不同的设备独立处理两种预处理时包含的过多转移步骤，从而降低了样品在转移期间发生掉落的风险。