透射电子显微镜样品和样品杆预处理的一体式装置

摘要

本实用新型涉及透射电子显微镜的配件技术领域，具体涉及一种透射电子显微镜样品和样品杆预处理的一体式装置，该装置包括：等离子清洗模块，其用于对TEM样品进行等离子清洗；真空存储模块，其用于对TEM样品和/或样品杆进行真空存储；真空泵组，其能够与所述等离子清洗模块和所述真空存储模块分别连通；以及阀门组件，其包括多个阀门，通过切换所述多个阀门中的一个或者多个的开闭状态从而使所述真空泵组与所述等离子清洗模块和/或所述真空存储模块连通。本实用新型通过一套真空泵组能够实现两种预处理，节省了部件，避免了由于需要TEM样品在不同的独立设备之间过多的转移而可能存在的如发生掉落等风险。