外延晶片背面检查装置及使用其的外延晶片背面检查方法

摘要

本发明提供一种能够检测外延晶片背面上的缺陷的外延晶片背面检查装置。本发明的外延晶片背面检查装置(100)的特征在于，具有：光学系统(30)，以相对于外延晶片(1)的背面垂直的方式设置且具备环形光纤照明(10)及拍摄部(20)；以及扫描部(40)，以与所述背面平行的方式扫描光学系统(30)，环形光纤照明(10)的光源是蓝色LED及红色LED中的任一个。