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Laser Processing of Transparent Wafers with a AlGaN/GaN Heterostructures and High-Electron Mobility Devices on a Backside

机译：用AlGaN / GaN异质结构和背面的高电子移动装置激光加工透明晶片

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Simonas Indrišiūnas; Evaldas Svirplys; Justinas Jorudas; Irmantas Kašalynas;
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年度 2021
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