红外干涉仪测量光学非球面反射镜面形的检测装置及方法

摘要

红外干涉仪测量光学非球面反射镜面形的检测装置及方法，涉及光学检测技术领域，尤其是一利用红外干涉仪进行检测的红外干涉仪测量光学非球面反射镜面形的检测装置及方法。本发明的红外干涉仪测量光学非球面反射镜面形的检测装置及方法，该检测装置包括红外激光干涉仪、空间滤波器、第一准直镜、参考反射镜、分光镜、标准镜头、标准镜头夹持器、待测镜头夹持器、第二准直镜、红外探测器、移相器、导轨和计算机；本发明为生产、科研部门提供了一种非球面ΡV、RMS等波面参数的激光干涉法测量方法，为非球面波面参数评价提供了有效可靠的依据。