两种非球面面形的光学测量方法研究

摘要

对两种光学非接触式非球面测量方法-条纹投影法和激光干涉法分别进行了实验和理论研究,在投影法中,把电子干涉条纹作为投影源,采用相移技术对被测物体的表面进行三维测量,并采用自行开发的软件算法进行条纹图的相位蕈建工作,给出了最终的物体三维轮廓图；在干涉法中,提出了新的径向剪切式同步相移干涉仪,采用两稚敏干涉平板结构,利用偏振光原理实现四幅条纹图的同步采集,可进行不同型号的全口径测量,并能避开振动的影响,抗于扰能力强,其理论精度可达到λ/100,并能实现普通无隔振环境下的高精度动态测量。