一种可调谐栅结构微机械陀螺中的参量放大方法及其装置

摘要

本发明公开了一种可调谐栅结构微机械陀螺中的参量放大方法及其装置，该方法包括驱动信号产生、调谐信号产生、调谐信号放大、位移检测、幅度和相位提取五个步骤。该装置包括可调谐微机械陀螺、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、调谐信号放大电路、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器和现场可编程门阵列芯片。本发明利用了变面积式三角形电极实现调谐结构而不会引入软弹簧效应，利用现场可编程门阵列芯片产生根号形式的调谐电压信号，能够对直流调谐能力和参量放大能力进行分开设置。该方法可被应用于微机械陀螺的驱动模态或者检测模态，也可被应用于其他种类的微机械谐振器。