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一种新型栅结构微机械陀螺的设计和制作

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本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响,对陀螺的制作进行了讨论.理论分析表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动频率为2.85KHz时,其带宽可达到32Hz,品质因子Q可达到150.

著录项

来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|237-239|共3页
会议地点上海
作者
熊斌; 黄小振; 王跃林;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类无线电导航;设计;
关键词
微机械陀螺; 结构参数; 灵敏度;

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