一种基于体声波谐振器的光声波陀螺仪及其加工方法

摘要

本发明公开了一种基于体声波谐振器的光声波陀螺仪及其加工方法，陀螺仪包括铌酸锂光通路层、体声波谐振器、共型电极和玻璃衬底，玻璃衬底与体声波谐振器的硅层进行阳极键合，共型电极有多个，且均匀分布在体声波谐振器外围，并与玻璃衬底阳极键合，铌酸锂光路层覆盖在体声波谐振器上方，并在45°和225°方向延伸出光通路条，且光通路条位于共型电极上方；在每个共型电极和体声波谐振器底部设有金属焊盘；玻璃衬底上开设有与共型电极和体声波谐振器底部的金属焊盘位置一一对应的电极通孔。本发明可以做的很小，结构完整性好、测量精密度高；加工封装方法能缩短生产周期，适合批量化生产。