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申洪霞; 欧文;
中国科学院大学微电子学院;
北京101400;
中国科学院微电子研究所;
北京100020;
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;
江苏无锡214000;
薄膜体声波谐振器; 氮化铝; 诱导层;
机译:设计参数对薄膜体声波谐振器性能的影响
机译:薄膜体声波谐振器的建模和梯型滤波器设计
机译:基于单晶43的薄膜体声波谐振器○Y切割锂铌酸锂薄膜
机译:支持5G:用于高频应用的高Q薄膜体声波谐振器(FBAR)的建模和设计
机译:基于MEMS的系统,用于使用薄膜体声波谐振器和IR / UV光学判别进行粒子暴露评估。
机译:基于一次性塑料薄膜的柔性表面声波谐振器用于电子产品和芯片实验室应用
机译:用于射频应用的薄膜体声波谐振器(FBaR)滤波器的设计与分析
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)
机译:使用制造方法的薄膜体声波谐振器电路和滤波器的薄膜体声波谐振器滤波器
机译:薄膜体声波谐振器,滤波器和通信设备以及包括其的薄膜体声波谐振器的制造方法
机译:薄膜体声波谐振器的制造方法及薄膜体声波谐振器
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