一种基于声光耦合效应的光声波陀螺仪及其加工方法

摘要

本发明公开一种基于声光耦合效应的光声波陀螺仪及其加工方法，光声波陀螺仪包括SOI主体结构、硅盖帽、谐振子、金属电极和光通路；SOI主体结构与硅盖帽键合，SOI主体结构包括SOI衬底和SOI器件层，SOI衬底设在SOI器件层下方；SOI器件层顶面中心部设有圆槽，谐振子为圆盘状，设在圆槽中心，金属电极均匀分布在谐振子外周，光通路均匀分布在相邻两金属电极之间；硅盖帽下表面对应谐振子位置设有凹槽；硅盖帽上设有与金属电极数量相等的电极通孔，电极通孔底部设有金属焊盘，电极通孔与金属电极位置一一对应且相接。本发明利用光来检测角速度，质量小、测量精度高、不受电磁干扰，应用范围广，有着良好的市场前景。