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拼接式压印模板及其制备方法和母模板

摘要

本公开提供了一种拼接式压印模板的制备方法,该拼接式压印模板包括:相邻的第一拼接区域和第二拼接区域,制备方法包括:在衬底基板上的第一拼接区域内形成第一拼接压印图形;在第一拼接压印图形背向衬底基板的一侧表面形成牺牲层;在衬底基板上的第二拼接区域内形成第二模板胶;采用预定母模板对位于第二拼接区域内的第二模板胶进行图案化,部分第二模板胶溢出至牺牲层背向衬底基板的一侧;对第二模板胶进行固化和脱模;通过特定除膜工艺去除牺牲层,位于牺牲层背向衬底基板的一侧的第二模板胶脱落,位于第二拼接区域的第二模板胶构成第二拼接压印图形。本公开还提供了一种拼接式压印模板和母模板。

著录项

  • 公开/公告号CN109240041B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-06-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;

    申请/专利号CN201811376982.9

  • 发明设计人 谭伟;郭康;谷新;张笑;

    申请日2018-11-19

  • 分类号G03F7/00(20060101);

  • 代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人汪源;陈源

  • 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

  • 入库时间 2022-08-23 11:03:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-26

    授权

    授权

  • 2019-02-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/00 申请日:20181119

    实质审查的生效

  • 2019-01-18

    公开

    公开

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