Template; mold; UV nanoimprint lithography; photomask; gas-permeable film;
机译:使用具有丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯基团的纤维素衍生物的透气模板,用于减少紫外线纳米压印光刻中的空隙缺陷密度
机译:具有图案模板的UV纳米压印光刻中的流体流动
机译:用于软UV纳米压印光刻的类似多孔氧化铝硅模板的制造
机译:使用具有透气性和气体吸附性的模板的UV纳米压印光刻技术,以减少捕集空气的问题
机译:将纳米压印光刻技术与动态模板相结合,以制造致密的大面积纳米粒子阵列。
机译:紫外线印刷光刻:几何冲击纳米级图案填充性能
机译:UV纳米压印光刻模板制造过程的现状与挑战