原子力显微镜探针的法向弹性常数针尖无损标定装置和使用方法

摘要

本发明公开了一种原子力显微镜探针的法向弹性常数针尖无损标定装置和使用方法，法向弹性常数针尖无损标定装置包括：灵敏度标定微台、弯曲力标定微台和二维电动位移台，灵敏度标定微台和弯曲力标定微台各安装在一个二维电动位移台上或安装在同一个二维电动位移台上，其中，灵敏度标定微台包括一第一倾斜硅片基底，弯曲力标定微台包括：天平和第二倾斜硅片基底，第一倾斜硅片基底和第二倾斜硅片基底的顶端各形成有一棱。相对于以往的采用弯曲法对原子力显微镜探针法向弹性常数进行标定的系统，本发明的法向弹性常数针尖无损标定装置不会对微悬臂梁探针的针尖产生任何的损伤以及污染。