多倍频栅条型周期栅阵制备方法

摘要

本发明公开一种多倍频栅条型周期栅阵制备方法，包括如下步骤：(10)基准栅条获取：在基片上通过一次移动周期栅阵光刻掩膜版、二次曝光，剥离，得到基准组栅条；(20)重复栅条获取：在已得到基准组栅条或者已得到基准组栅条和部分重复组栅条的基片上，通过二次移动周期栅阵光刻掩膜版、二次曝光、剥离，得到一组重复组栅条；(30)栅条阵列获取：重复步骤(20)重复栅条获取，制备所需组数的重复组栅条，得到多倍频栅条型周期栅阵。本发明的多倍频栅条型周期栅阵制备方法，工艺技术及设备要求低、制造成本低。