法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-21
授权
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2018-09-11
实质审查的生效 IPC(主分类):B25J13/08 申请日:20180412
实质审查的生效
2018-09-11
实质审查的生效 IPC(主分类):B25J 13/08 申请日:20180412
实质审查的生效
2018-07-10
公开
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2018-07-10
公开
公开
2018-07-10
公开
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机译: 用于末端执行器的抽吸设备,用于保持基板的末端执行器和制造末端执行器的方法
机译: 用于末端执行器的抽吸设备,用于保持基板的末端执行器以及制造末端执行器的方法
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