公开/公告号CN108242395B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海硅酸盐研究所;
申请/专利号CN201611206295.3
申请日2016-12-23
分类号
代理机构上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙);
代理人曹芳玲
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号
入库时间 2022-08-23 10:50:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-14
授权
授权
2018-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/268 申请日:20161223
实质审查的生效
2018-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/268 申请日:20161223
实质审查的生效
2018-07-03
公开
公开
2018-07-03
公开
公开
2018-07-03
公开
公开
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