一种声表面波器件的声电放大效应检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种声表面波器件的声电放大效应检测装置及检测方法，检测装置包括：信号发生单元产生输入射频信号并传输至声表面波器件；气体腔通入不同化学性质的气体以改变声表面波器件中气敏薄膜的载流子浓度；信号检测单元接收声表面波器件在与气体腔中气体作用下对输入射频信号进行放大处理后输出的输出射频信号；以及信号处理单元，其输入端依次与信号发生单元的第二输出端和信号检测单元的输出端连接，根据输出射频信号与输入射频信号的比值关系来判断该声表面波器件是否存在对声表面波进行放大处理。该检测装置通过通入敏感气体，改变声表面波器件中气敏薄膜中载流子的浓度，更好的检测出声波面波器件中声电放大效应。