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包含两种整平剂的电镀铜用有机添加剂以及包含该添加剂的电镀铜液

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摘要

本发明的一实施方式涉及的电镀铜用有机添加剂，其添加到用于在形成有图案的基板上通过电镀方式形成铜膜的镀铜液中，其中，包含至少两种整平剂，以提高形成于所述图案上的所述铜膜的均匀度以及平整度。

公开/公告号CN108026656B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-01

原文格式PDF
申请/专利权人韩国生产技术研究院;
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申请/专利号CN201680055727.7
发明设计人李玟炯;李云永;
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申请日2016-01-29
分类号C25D3/38(20060101);C07C211/62(20060101);C07C211/63(20060101);C25D9/02(20060101);
代理机构11327 北京鸿元知识产权代理有限公司;
代理人姜虎;陈英俊
地址韩国忠清南道
入库时间 2022-08-23 10:41:20

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1. 包含两种整平剂的电镀铜用有机添加剂以及包含该添加剂的电镀铜液 [P] . 中国专利： CN108026656B . 2019.10.01
2. 用于形成高平整度镀铜膜的电镀铜用有机添加剂及包含该添加剂的电镀铜液 [P] . 中国专利： CN108350590A . 2018-07-31
3. Additive and electric copper plating bath null for electric copper plating [P] . 日本专利： JP2757749B2 . 1998-05-25

机译：电镀铜用添加剂和电镀铜液无效
4. Composition for copper electroplating comprising a source of copper ions and at least one additive, its use for electrodeposition and a process for depositing copper layer on a substrate [P] . IL217536A . 2016-05-31

机译：包含铜离子源和至少一种添加剂的用于电镀铜的组合物，其用于电沉积的用途以及在基材上沉积铜层的方法
5. ADDITIVE FOR ELECTROLYTE OF LITHIUM BATTERY, ORGANIC ELECTROLYTE SOLUTION COMPRISING THE SAME, AND LITHIUM BATTERY USING THE ORGANIC ELECTROLYTE SOLUTION [P] . 美国专利： US2015086861A1 . 2015-03-26

机译：锂电池电解液，包含该电解液的有机电解液的添加剂，以及使用有机电解液的锂电池的添加剂