阶梯电流阻挡层垂直型功率器件

摘要

本发明公开了一种阶梯电流阻挡层垂直型功率器件，主要解决现有同类器击穿电压低与导通电阻大的问题，其包括：衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、左右两个对称的多级阶梯结构电流阻挡层(4)、沟道层(6)和势垒层(7)，沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有源槽(10)，两侧源槽(10)中淀积有两个源极(11)，源极(11)之间的势垒层上外延有p型帽层(8)，p型帽层(8)两侧刻有台阶(9)，p型帽层(8)上面淀积有栅极(12)，衬底(1)下面淀积有漏极(13)，两个对称的电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高，可用于电力电子系统。