能引出低熔点金属离子的冷阴极潘宁离子源

摘要

本发明涉及一种用在离子注入机设备中的离子源装置，特别是一种能引出低熔点金属离子的离子源，该方法针对潘宁离子源的对阴极做了改进，改进的办法是使对阴极内部挖空，在对阴极面打一个小孔，这样对阴极就成为一个带有孔洞的圆杯状腔壳，腔壳内包的低熔点金属物质于是就通过挥发进入放电室并被电离成离子，从而使离子源引出低熔点金属离子。这种改进源的最大特点是结构简单，操作方便。