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带有压电致动器的谐振双轴线MEMS反射器及包含其的投影MEMS系统

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一种MEMS器件，包含：固定结构(10)；活动结构(12)，其包括反射元件(90)；第一可变形结构(22)和第二可变形结构(24)，它们被布置在固定结构和活动结构之间。第一可变形结构和第二可变形结构中的每个包括相应数量的主压电元件(40)。第一可变形结构和第二可变形结构的主压电元件(40’，40”)能够被电控制以引起活动结构分别关于第一轴线(A

著录项

公开/公告号CN106814451B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-24

原文格式PDF
申请/专利权人意法半导体股份有限公司;
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申请/专利号CN201610483722.6
发明设计人 D·朱斯蒂;R·卡尔米纳蒂;
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申请日2016-06-27
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址意大利阿格拉布里安扎
入库时间 2022-08-23 10:41:12

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-09-24

授权

授权
2017-07-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/08 申请日:20160627

实质审查的生效
2017-07-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/08 申请日:20160627

实质审查的生效
2017-06-09

公开

公开
2017-06-09

公开

公开
2017-06-09

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1. 带有压电致动器的谐振双轴线MEMS反射器及包含其的投影MEMS系统 [P] . 中国专利： CN106814451B . 2019.09.24
2. 带有压电致动器的谐振双轴线MEMS反射器及包含其的投影MEMS系统 [P] . 中国专利： CN106814451A . 2017-06-09
3. RESONANT BIAXIAL MEMS REFLECTOR WITH ELONGATED PIEZOELECTRIC ACTUATORS, AND PROJECTIVE MEMS SYSTEM INCLUDING THE SAME [P] . 美国专利： US2019068934A1 . 2019-02-28

机译：具有长压电致动器的共振双轴MEMS反射器以及包含相同功能的投射MEMS系统
4. Resonant biaxial MEMS reflector with piezoelectric actuators, and projective MEMS system including the same [P] . 美国专利： US10225530B2 . 2019-03-05

机译：具有压电致动器的共振双轴MEMS反射器以及包括该反射器的投射MEMS系统
5. Resonant biaxial MEMS reflector with elongated piezoelectric actuators, and projective MEMS system including the same [P] . 美国专利： US10499022B2 . 2019-12-03

机译：具有细长压电致动器的共振双轴MEMS反射器以及包括该反射器的投射MEMS系统