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【2h】

Q-Factor Enhancement of Thin-Film Piezoelectric-on-Silicon MEMS Resonator by Phononic Crystal-Reflector Composite Structure

机译：Q-系数提高薄膜压电对硅MEMS谐振器通过呼吸晶体反射器复合结构

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Jiacheng Liu; Temesgen Bailie Workie; Ting Wu; Zhaohui Wu; Keyuan Gong; Jingfu Bao; Ken-ya Hashimoto;
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年度 2020
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