基于MEMS薄膜压电谐振器与氧化石墨烯的湿度传感器

著录项

• 作者

  乐先浩;

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• 作者单位

  浙江大学;

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• 授予单位 浙江大学;
• 学科 机械电子工程
• 授予学位 博士
• 导师姓名 谢金;
• 年度 2019
• 页码
• 总页数
• 原文格式 PDF
• 正文语种 中文
• 中图分类 TQ4;TQ3;
• 关键词

  MEMS薄膜; 谐振器; 氧化石墨;