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林荣辉; 孙翠敏; 尤晖; 张瑞; 杨明鹏; 李小军;
中国科学院合肥物质科学研究院智能机械研究所;
中国科学技术大学精密机械与仪器系;
合肥工业大学宣城校区机械系;
压电式; 射频磁控溅射; 氧化锌薄膜; 柔性超声波器件; 压电薄膜表征;
机译:柔性SCXAL(1-x)N薄膜的压电和生物相容性,用于兼容MEMS换能器
机译:基于SOI晶片的Si隔膜,ZnO压电薄膜基于MEMS的声传感器的设计与制造
机译:基于ZnO压电薄膜的自聚焦高频超声换能器
机译:基于PMMA / ZnO纳米线复合材料的柔性压电换能器
机译:超声换能器中基于PZT的薄膜中的局部压电行为。
机译:使用基于Au / n-ZnO /压电-ZnO / Al结构的薄膜体声谐振器进行UV感测
机译:基于锆钛酸铅(pZT)薄膜的压电mEms麦克风
机译:基于ZNO的压电薄膜和压电元件
机译:用于将MEMS(微机电系统)超声转换的装置,一种PMUT(压电微机械超声换能器)装置以及一种将有源转换器与多个钝化层相结合的有源矩阵转换器(一种方法)和一种用于解决问题的方法系统)超声波
机译:使用碳纳米管耦合到柔性基板的相控阵的MEMS换能器,用于保全超声波扫描
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