法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-13
授权
授权
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/26 申请日:20150902
实质审查的生效
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20150902
实质审查的生效
2017-08-18
公开
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2017-08-18
公开
公开
2017-08-18
公开
公开
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机译: CVD气流轮廓调制控制等离子体CVD膜中的覆盖物控制
机译: CVD气流轮廓调制控制等离子体CVD膜中的覆盖物控制
机译: 等离子体CVD装置和在等离子体CVD装置中积累膜的地方