一种具有宽带减反射作用的柔性水氧阻隔膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性透明水氧阻隔膜及其制备方法，该柔性透明水氧阻隔膜位于柔性透明基底以上；所述阻隔膜具有宽带减反射作用。所述阻隔膜为多层结构，所述阻隔膜中各层的厚度在10nm至400nm范围内，所述阻隔膜的总层数在2至20层范围内。本发明通过采用薄膜光学理论中多层宽带减反射膜设计方法设计阻隔膜的膜系机构，利用薄膜沉积工艺将所述阻隔膜沉积在柔性透明基底上，制备得到了一种兼顾阻隔性能、弯曲性能和光学性能，且工艺成本低的具有宽带减反射作用的柔性水氧阻隔膜，由此解决现有技术缺乏一种应用于柔性透明光电器件的既具有阻隔性能满足光学性能要求的水氧阻隔膜的技术问题。