公开/公告号CN109557251B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 四川辅正药业股份有限公司;
申请/专利号CN201810288987.X
申请日2018-04-03
分类号
代理机构成都高远知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李高峡
地址 610000 四川省成都市简阳市镇金镇红日桥路188号
入库时间 2022-08-23 10:38:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-20
授权
授权
2019-04-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 33/00 申请日:20180403
实质审查的生效
2019-04-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 33/00 申请日:20180403
实质审查的生效
2019-04-02
公开
公开
2019-04-02
公开
公开
2019-04-02
公开
公开
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机译: 晶片质量检验方法和装置,以及包括晶片质量检验方法的半导体器件制造方法
机译: 质量检验方法,质量检验装置和质量检验系统
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