远心亮场与环形暗场无缝融合式照射

摘要

本发明描述一种用于区域检验设备的照射系统。所述照射提供无缝地融合在一起的远心亮场与环形暗场光。在一个或多个实施例中，所述照射系统并入有组合不同透镜的统一光学透镜总成，所述透镜将定位在不同平面处的照射以无缝方式成像到单个平面。在一个或多个实施例中，所述照射系统的不同部件具有共同孔径光阑，因此在光学路径中不存在渐晕效应，从而使得由检验系统获取的光学图像具有高质量。