卤硅聚合物裂解制备卤硅烷的方法及装置

摘要

本发明公开了一种卤硅聚合物裂解制备卤硅烷的方法及装置，包括将卤硅聚合物通入裂解反应器中，在催化剂与裂解剂的作用下裂解生成卤硅烷的步骤。根据本发明的方法，无需使用辅助燃料，无废渣的产生，减少了废水排放，使改良西门子法多晶硅生产的尾气循环利用率大大提高，做到了环境友好，同时将卤硅聚合物转化为多晶硅生产所需的卤硅烷原料，降低了多晶硅生产成本。