一种椭圆柔性基底的压电薄膜传感器

摘要

本发明属于传感器技术领域，提供一种椭圆柔性基底的压电薄膜传感器。包括压电薄膜、柔性基底、绝缘保护层；压电薄膜传感器的柔性基底为半椭圆柱弧面结构，压电薄膜覆盖在柔性基底，并通过绝缘保护层将薄膜固定；根据柔性基底结构分为等弧长椭圆柔性基底传感器和等弦长椭圆柔性基底传感器两类。该压电薄膜传感器通过仿真计算不同尺寸参数的半椭圆柔性基底的压电薄膜传感器在受到同样的力作用下的输出电压来确定最优的柔性基底尺寸，即以输出电压的高低作为确定传感器柔性基底尺寸的依据。本发明具有更高的灵敏度，便于传感器的微型化和阵列化。