法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-21
授权
授权
2017-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/16 申请日:20161206
实质审查的生效
2017-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/16 申请日:20161206
实质审查的生效
2017-05-10
公开
公开
2017-05-10
公开
公开
机译: 用于生长大面积二氧化钒薄膜的设备和用于生长大面积二氧化钒薄膜的方法
机译: 用于生长大面积二氧化钒薄膜的设备以及在该设备中用于生长大面积氧化物薄膜的方法
机译: 用于生长大面积二氧化钒薄膜的设备以及用于生长该设备中的大面积氧化薄膜的方法