公开/公告号CN106489093B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社尼康;
申请/专利号CN201580034744.8
发明设计人 加藤正纪;
申请日2015-04-27
分类号G02B26/12(20060101);G02B26/10(20060101);G02F1/03(20060101);G02F1/11(20060101);G02F1/37(20060101);G03F7/20(20060101);G03F7/24(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人陈伟;王娟娟
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:30:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-19
授权
授权
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/12 申请日:20150427
实质审查的生效
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/12 申请日:20150427
实质审查的生效
2017-03-08
公开
公开
2017-03-08
公开
公开
机译: 图案描绘装置图案描绘方法装置制造方法激光光源装置光束扫描装置及光束扫描方法
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