公开/公告号CN106052573B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第十三研究所;
申请/专利号CN201610593087.7
发明设计人 李锁印;
申请日2016-07-26
分类号G01B11/06(20060101);G01N21/21(20060101);G01N21/41(20060101);
代理机构13120 石家庄国为知识产权事务所;
代理人申超平
地址 050051 河北省石家庄市合作路113号
入库时间 2022-08-23 10:29:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-16
授权
授权
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/06 申请日:20160726
实质审查的生效
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20160726
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
2016-10-26
公开
公开
机译: 光谱椭偏仪的焦距调整方法,膜厚测量装置和光谱椭偏仪
机译: 光谱椭偏仪,膜厚测量装置以及在该光谱椭偏仪中聚焦的方法
机译: 光谱式椭偏仪,膜厚测量装置以及在光谱式椭偏仪中的聚焦方法