公开/公告号CN205825904U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第十三研究所;
申请/专利号CN201620790976.8
发明设计人 李锁印;
申请日2016-07-26
分类号
代理机构石家庄国为知识产权事务所;
代理人申超平
地址 050051 河北省石家庄市合作路113号
入库时间 2022-08-22 01:59:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-21
授权
授权
机译: 光谱椭偏仪的焦距调整方法,膜厚测量装置和光谱椭偏仪
机译: 光谱椭偏仪,膜厚测量装置以及在该光谱椭偏仪中聚焦的方法
机译: 光谱式椭偏仪,膜厚测量装置以及在光谱式椭偏仪中的聚焦方法