多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法

摘要

提供将铜和钼的多层膜蚀刻、可以降低用量的蚀刻液。使用过氧化氢的蚀刻液中，由于过氧化氢被铜离子分解，因此补充大量的蚀刻液。一种多层膜用蚀刻液，其特征在于，其包含过氧化氢、酸性有机酸、胺化合物、过氧化氢分解抑制剂、唑类、和含有铝盐的析出防止剂，作为前述过氧化氢分解抑制剂，以0.4质量％以上且5质量％以下的比率含有乙二醇单丁基醚，前述胺化合物为N,N‑二乙基‑1,3‑丙烷二胺，对于该多层膜用蚀刻液，即使铜离子增加也可以抑制过氧化氢分解速度，可以降低蚀刻液的总用量。