積層膜一括エッチング液「KSMF」

摘要

TFT-LCDパネルで，電極は重要部材の1つであり，低抵抗 なAIやCuなどが主流となっている。耐食性向上を目的に他金 属でキャップ膜を形成した積層膜として使用されるため，これ らを一括エッチングする技術が注目されている。本稿では，Al およびCu積層膜の一括エッチング液の特性および今後の課題 について述べる。