フッ素系ウエットエッチング液·洗浄液：ポストCMP洗浄液·SiO_2/SiN高選択エッチング液

摘要

先端デバイスの技術革新は常に「新材料に対応する製品」「従来とは異なる要求仕様の薬品」を要求する。本稿では最近要望される機会が多くなっている「ポストCMP洗浄液」「SiO_2/SiN高選択エッチング液」について紹介する。